High-resolution characterization of TiN diffusion barrier layers

Författare
Linköpings universitet Marlene Mühlbacher
(Marlene Mühlbacher., Härtill 2 uppsatser, Lic.-avh. (sammanfattning) Linköping : Linköpings universitet, 2015)
Genre
Avhandlingar, theses
Språk
Engelska
Förlag År Ort Om boken ISBN
Department of Physics, Chemistry, and Biology (IFM), Linköping University 2015 Sverige, Linköping 61 sidor. ill. 978-91-7685-994-0