High-resolution characterization of TiN diffusion barrier layers
- Författare
- Linköpings universitet Marlene Mühlbacher
- (Marlene Mühlbacher., Härtill 2 uppsatser, Lic.-avh. (sammanfattning) Linköping : Linköpings universitet, 2015)
- Genre
- Avhandlingar, theses
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Department of Physics, Chemistry, and Biology (IFM), Linköping University | 2015 | Sverige, Linköping | 61 sidor. ill. | 978-91-7685-994-0 |